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新方法 讓光片“又寬又薄”

   2022-03-29 39

中科院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院正高級(jí)工程師李劍平團(tuán)隊(duì)提出了一種生成薄而寬的準(zhǔn)無衍射激光光片的光瞳掩模優(yōu)化設(shè)計(jì)方法,。該方法提出了一個(gè)光片質(zhì)量的全局評(píng)價(jià)因子,用以表征光片厚度,、無衍射范圍和旁瓣之間的制衡關(guān)系,。理論和實(shí)驗(yàn)表明,優(yōu)化后的掩??蓪㈧o態(tài)光片無衍射范圍擴(kuò)大50%,,同時(shí)使其旁瓣低于20%。據(jù)此生成的新型靜態(tài)光片可以在不犧牲軸向分辨率的前提下,,對(duì)樣品實(shí)現(xiàn)更大視野成像,。

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